In this work optical measurement techniques are developed and performed for the on-wafer and in-circuit characterisation of coplanar HF devices and circuits. Electro-optic sampling methods have been used most commonly deploying the Pockels-effect. It can shown, that also electroabsorptive mechanisms can be used for the measurement of HF signals. In addition, optical heterodyning is applied to transfer the microwave signal that is to detect to lower frequency ranges. - Gegenstand der vorliegenden Dissertation ist die Entwicklung einer optischen Messtechnik, die zur Untersuchung und Charakterisierung von koplanaren Hochfrequenz-Bauelementen und -Schaltungen eingesetzt werden kann. Hervorragende Ergebnisse konnten bislang mit der elektrooptischen Messtechnik erzielt werden, welche den Pockels-Effekt zwischen einem durch das Bauelement propagierenden Mikrowellensignal und einem optischen Abtaststrahl ausnutzt. Die vorliegende Arbeit zeigt, dass auch elektroabsorptive Effekte für optische Messverfahren eingesetzt werden können. Sie präsentiert zudem die Möglichkeit, durch die Heterodyn-Technik, also das geeignete Mischen zweier wellenlängenverstimmter cw-Laser, das Mikrowellensignal in niedrigere und damit einfacher zu messende Frequenzbereiche herunterzutransferieren.