Die Erzeugung verschiedener monodisperser, ligandfreier Metall-Nanopartikel und deren Einsatz zur Strukturierung von Oberflächen steht im Blickpunkt des wissenschaftlichen und anwendungsbezogenen Interesses. Diese Arbeit befasst sich mit dem Aufbau und der Optimierung einer Apparatur zur Erzeugung ligandfreier, monodisperser Metall-Nanopartikel, mit denen unterschiedliche Substratoberflächen strukturiert werden können. Hierzu werden zwei unterschiedliche Aerosol-Generierungsmethoden, die elektrohydrodynamische- (Elektrospray) und eine pneumatische Zerstäubungsmethode eingesetzt und mit einer Plasma-Pyrolyse kombiniert, mit deren Hilfe ligandfreie Metall-Nanopartikel hergestellt und separiert voneinander auf Substratoberflächen deponiert werden konnten. Derartig strukturierte Oberflächen wurden auf Veränderungen in Bezug auf die Grenzflächeneigenschaften, wie beispielsweise das Benetzungsverhalten oder die freie Grenzflächenenergie der strukturierten Oberfläche, untersucht, wobei hierfür die Methode der Kontaktwinkelbestimmung eingesetzt wurde. Dabei konnten Veränderungen der Grenzflächeneigenschaften durch Nanostrukturierung der Substratoberflächen beobachtet werden.