Im Rahmen dieser Arbeit ist ein neues Meßverfahren zur Online und in-situ-Partikeldetektion auf Oberflächen konzipiert, realisiert und verifiziert worden, das die Detektion der Verunreinigungen durch eine transparente Oberfläche hindurch mit Hilfe der Streulichtmeßtechnik erlaubt. Dieser innovative Schritt erlaubt es, alle Meßsystemkomponenten unterhalb der transparenten Oberfläche anzuordnen. Erstmals wird eine in-situ-Fähigkeit des Meßverfahrens im Gegensatz zu existierenden Oberflächenmeßtechniken erzielt.