Thorsten Braasch: Optische Meßverfahren für den Mikro- und Millimeterwellenbereich

Inhalt
 
 

Inhaltsverzeichnis
 
 
 

Liste der verwendeten Abkürzungen, Formelzeichen und Konstanten
 
 
 

1.	Einleitung	1
1.1.	Zielsetzung der Arbeit	4
1.2.	Struktur der Arbeit	5
2.	Methoden zur kontaktlosen Charkaterisierung integrierter Hoch- und Höchstfrequenz-Bauelemente und -Schaltungen - ein Überblick	7
2.1.	Nichtoptische Meßverfahren	8
2.2.	Optische Meßverfahren	11
3.	Physikalische Grundlagen optischer Meßverfahren	17
3.1.	Der elektrooptische Pockels-Effekt	17
3.2.	Der elektroabsorptive Franz-Keldysh-Effekt	23
3.3.	Weitere optoelektronische Effekte im Vergleich	25
4.	Technische Grundlagen optischer Meßverfahren	28
4.1.	Die direkte und die indirekte elektrooptische Meßtechnik	28
4.2.	Die Sampling-Methode	31
4.3.	Die Heterodyn-Meßtechnik	36
4.4.	Das Prinzip der OBIC-Messungen	40
5.	Realisierung der Meßverfahren und Meßergebnisse	43
5.1.	Der Meßaufbau für die elektrooptische Meßtechnik mit einem gepulsten Lasersystem	44
5.1.1.	Meßaufbau	44
5.1.2.	Meßergebnisse	46
5.2.	Das heterodyn-elektrooptische Meßsystem	48
5.2.1.	Meßaufbau	48
5.2.2.	Photodetektoren für die Heterodyn-Meßtechnik	59
5.2.3.	Meßergebnisse	63
5.3.	Das Heterodyn-Meßsystem für OBIC-Messungen	69
5.3.1.	Meßaufbau	69
5.3.2.	Meßergebnisse	71
6.	Zusammenfassung und Ausblick	79
	Literaturverzeichnis	84