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FT-Ellipsometrie an anodischen Oxidschichten auf Aluminium

Berentsen, Susanne

In der vorliegenden Dissertation werden anodische Oxidschichten auf Aluminium mit Hilfe der FT-IR-Spektrometrie charakterisiert. Hierbei werden die Methoden der gerichteten Reflexion und der FT-IR-Ellipsometrie eingesetzt. Der Schwerpunkt der Untersuchungen liegt auf der physikalisch-chemischen Charakterisierung der anodischen Schichten. Es wird ein optisches Modell entwickelt auf dessen Basis die optischen Konstanten, der Brechungsindex n und der Absorptionskoeffizient k, der anodischen Schichten ermittelt werden. In the present thesis anodic layers on Aluminium are characterised by FT-IR-Spectrometry. FT-IR-Ellipsometry and specular reflection and are used. The main emphasis is put on the physical-chemical characterisation of the anodic layers. An optical model is developed. On the basis of this model the optical constants, the refractive index n and the absorption coefficient k, are determined.

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Berentsen, Susanne: FT-Ellipsometrie an anodischen Oxidschichten auf Aluminium.

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