Inhalt
Titel
Inhaltsverzeichnis
| Verzeichnis der verwendeten Formelzeichen und Konstanten | III | |
| Abkürzungen | IX | |
| 1. | Einleitung | 1 |
| 2. | Elektrische Kraftmikroskopie | 6 |
| 2.1. | Prinzip der Rasterkraftmikroskopie | 6 |
| 2.2. | Prinzip der elektrischen Kraftmikroskopie (EKM) | 14 |
| 2.3. | Verfahren zur Messung statischer elektrischer Größen | 20 |
| 2.4. | Verfahren zur Messung dynamischer elektrischer Größen | 28 |
| 2.5. | Diskussion | 47 |
| 3. | Messaufbau, Teststrukturen und Messsonden | 49 |
| 3.1. | Das EKM-Testsystem | 49 |
| 3.2. | Die Teststrukturen | 52 |
| 3.3. | Verwendete Messsonden | 55 |
| 4. | Systematische
Untersuchung der EKM-Leistungsparameter bezüglich
Messungen an Submikrometerleitungen |
59 |
| 4.1. | Die Leistungsparameter der EKM | 60 |
| 4.2. | Der Geometriefaktor der elektrischen Kraft | 65 |
| 4.3. | Zwei-dimensionale Modellbeschreibung des Spitzeneinflusses | 70 |
| 4.4. | Experimentelle Untersuchung der elektrischen Ortsauflösung und Spannungsauflösung | 74 |
| 4.5. | Untersuchungen zur Optimierung der Messspitzengeometrie | 82 |
| 5. | EKM an parallelen Submikrometerleitungen | 99 |
| 5.1. | Überlegungen zum Übersprechen im EKM-Messsignal | 99 |
| 5.2. | Entwicklung eines Berechnungsmodells | 102 |
| 5.3. | Frequenz- und phasengleiche harmonische Leitungsspannungen | 107 |
| 5.4. | Frequenzgleiche gegeneinander phasenverschobene harmonische Leitungsspannungen | 111 |
| 5.5. | Frequenzverschobene Leitungsspannungen | 115 |
| 5.6. | Diskussion | 118 |
| 6. | Messung digitaler Signale mittels heterodyner Mischung | 128 |
| 6.1. | Theoretische Überlegungen | 128 |
| 6.2. | Grundwellendetektion periodischer digitaler Bitfolgen | 132 |
| 6.3. | Mehrwellendetektion periodischer digitaler Bitfolgen | 142 |
| 6.4. | Übersprechen | 150 |
| 6.5. | Diskussion | 151 |
| 7. | Zusammenfassung und Ausblick | 154 |
| Literaturverzeichnis | 159 | |
| Danksagung |