Epitaxie hochreiner Diamantschichten
Aufgabe dieser Arbeit war daher im Rahmen des Kooperationsprojekts “Er- zeugung und Untersuchung oberflächennaher Spin-Zentren in hochreinem Diamant“ die Konzeption und Optimierung einer Syntheseanlage für hochreine Diamantschichten und die anschließende Synthese solcher Schichten für die Untersuchung oberflächennaher NV-Zentren. Im weiteren Verlauf dieses Projektes konnten mehrere NV-Ensemble durch Ionenimplantation von Stickstoff gezielt oberflächennah erzeugt und mittels optisch detektierter Magnetresonanz (ODMR) bezüglich ihrer Kohärenzzeit charakterisiert werden. Bei der chemisch physikalischen Analyse konnte gezeigt werden, dass die hier synthetisierten Diamantschichten bei geeigneten Prozessparametern lediglich einen Stickstoffanteil von < 5 ppb aufweisen, was unterhalb des Stickstoffgehalts kommerziell erhältlicher Diamantsubstrate liegt.
The goal of this work was the conception, construction and optimization of a system for the synthesis of high-purity diamond films and the subsequent synthesis of such films for the investigation of near-surface NV-centers as part of the cooperation project ”Generation and investigation of near-surface spin centers in high-purity diamond”. During the project several near-surface NV ensembles were generated by low energy ion implantation of nitrogen and cha- racterized by optically detected magnetic resonance (ODMR). It was possible to show, that the synthesized diamond films have a very low nitrogen con- tent of less than 5 ppb, which is below the nitrogen content of commercially available diamond substrates.
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