Temperature and density measurements at an inductively RF excited hydrogen plasma discharge

Einordnung

Datum der Erstellung:

12.10.2004

Datum der Einreichung:

14.10.2004

Datum der Promotion:

12.10.2004

URN:

urn:nbn:de:hbz:465-miless-011541-6

Sprache:

Englisch

Ressourcentyp:

Text

Schlagwörter:

rotational temperature; degree of dissociation; ICP; RF discharges; capacitive and inductive modes

Kollektion:

E-Dissertationen

Dewey Dezimal-Klassifikation:

530 Physik

Sachgruppen der Deutschen Nationalbibliographie:

530 Physik

Einrichtung:

Fakultät für Physik