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Direkte Bestimmung von Eisenspuren in Dichlorsilan mit Hilfe der Graphitrohrofen-Atomabsorptionsspektrometrie (GF-AAS)

Benninghoff, Claus LSF

In the present thesis the development of an analytical method for the determination of trace amounts of iron in dichlorosilane by graphite furnace atomic absorption spectrometry with a modified autoprobe unit is described. An conceived gas inlet system enabled a nearly contamination free and constant gas injection. The analytical method is optimized and the iron concentration in dichlorosilane is quantitatively determined.

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Benninghoff, Claus: Direkte Bestimmung von Eisenspuren in Dichlorsilan mit Hilfe der Graphitrohrofen-Atomabsorptionsspektrometrie (GF-AAS).

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