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Dissertation angenommen durch: Universität Duisburg-Essen, Campus
Duisburg, Fakultät für Ingenieurwissenschaften, Abteilung
Elektrotechnik und Informationstechnik, 2004-04-21
BetreuerIn: Prof. Ph. D. Bedrich J. Hosticka , Universität
Duisburg-Essen, Campus Duisburg, Fakultät für Ingenieurwissenschaften,
Abteilung Elektrotechnik und Informationstechnik
GutachterIn: Prof. Ph. D. Bedrich J. Hosticka , Universität
Duisburg-Essen, Campus Duisburg, Fakultät für Ingenieurwissenschaften,
Abteilung Elektrotechnik und Informationstechnik GutachterIn:
Prof. Dr. Holger Vogt , Universität Duisburg-Essen, Campus Duisburg,
Fakultät für Ingenieurwissenschaften, Abteilung Elektrotechnik und
Informationstechnik
Schlüsselwörter in Deutsch: CMOS, Optoelektronische
integrierte Schaltungen, optische Detektoren, Fotodioden, Photodioden,
Transimpedanzverstärker, optische Speichersysteme
Schlüsselwörter in Englisch: CMOS, optical detectors, optical storage systems, optoelectronic integrated circuits, photodiodes, transimpedance amplifiers
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Abstrakt in Deutsch
In den vergangenen Jahren haben Anwendungen wie beispielsweise die
optischen Speichersysteme oder die parallele optische
Kurzstreckenübertragung enorme Verbreitung gefunden. Im ersten Fall
bedingt durch die Verbesserung der Speicherdichte, im zweiten Fall
durch die Verfügbarkeit von kostengünstigen Lichtquellen, basieren
diese Anwendungen auf Licht des sichtbaren Spektrums. Aufgrund der
Anforderungen hinsichtlich Bandbreite und Empfindlichkeit, beruhen
Detektoren, die bisher für diese Anwendungen zum Einsatz kamen, auf
BiCMOS, III/V oder optimierten CMOS Technologien wohingegen das enorme
Marktpotential dieser Anwendungsgebiete die Nutzung von Standard CMOS
Technologien nahe legt.
Im Rahmen dieses Vortrags werden Untersuchungen zur Eignung von CMOS
Prozessen für die genannten Anwendungen vorgestellt. Es werden dabei
theoretische und messtechnisch gewonnene Ergebnisse der Sensorelemente
präsentiert, sowie neuartiger Ausleseschaltungskonzepte vorgeschlagen,
deren Funktionalität ebenfalls durch Messergebnisse unterstrichen wird.
Ferner werden theoretische Analysen zur Optimierung dieser Konzepte
hinsichtlich verschiedener Parameter dargestellt.
Als Umsetzung der gewonnenen Erkenntnisse innerhalb eines Gesamtsystems
wurde ein Detektor für optische Speichersysteme realisiert. Hierbei
kommen erstmals die demodulierende und integrierende Auslese von
Fotodioden örtlich und zeitlich parallel zum Einsatz.
Abstrakt in Englisch
During the last years, applications such as optical storage systems or
the optical short haul communication have gained enormous relevance. In
the first case pushed by the improvement of the storage capacity, in
the latter by the availability of low-cost light sources, those
applications are based on light of the visible spectra. Due to the hard
speed and sensitivity specifications, by now the detectors for these
applications are based on BiCMOS, III/V or optimised CMOS technologies
whereas the enormous market potential demands the use of a standard
CMOS process.
Within the scope of this work, investigations concerning the aptitude
of CMOS technologies for the mentioned applications have been done.
Theoretical and measurement results for corresponding photodiodes as
well as innovative readout circuit concepts, whose functionality is
also underlined by measurements, are presented. Furthermore,
theoretical analyses for the optimisation of these concepts with
respect to different parameters are suggested.
As a system application based on the gained results, a novel detector
for optical storage systems has been realized. To the authors
knowledge, this is the first chip in-situ combining the integrating and
demodulating readout approach of photodiodes.
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