Claus Benninghoff :

Direkte Bestimmung von Eisenspuren in Dichlorsilan mit Hilfe der Graphitrohrofen-Atomabsorptionsspektrometrie (GF-AAS)

Dissertation angenommen durch: Universität Duisburg-Essen, Campus Duisburg, Fakultät für Naturwissenschaften, Institut für Chemie, 2004-03-03

BetreuerIn: Prof. Dr. Alfred Golloch , Universität Duisburg-Essen, Campus Duisburg, Fakultät für Naturwissenschaften, Institut für Chemie

GutachterIn: Prof. Dr. Alfred Golloch , Universität Duisburg-Essen, Campus Duisburg, Fakultät für Naturwissenschaften, Institut für Chemie
GutachterIn: Priv.-Doz. Dr. Evelin Denkhaus , Universität Duisburg-Essen, Campus Duisburg, Fakultät für Naturwissenschaften, Institut für Chemie

Schlüsselwörter in Deutsch: Dichlorsilan, Eisenspuren, Metallkontamination, Graphitrohrofen-Atomabsorptionsspektrometrie, GF-AAS, Halbleiter, reaktive Gase
Schlüsselwörter in Englisch: dichlorosilane, trace amounts of iron, metal contamination, graphite furnace atomic absorption spectrometry, GF-AAS, semiconductor; reactive gases

  
   
 Klassifikation     
    Sachgruppe der DNB: 540 Chemie
  
   
 Abstrakt     
   

Abstrakt in Deutsch

In der vorliegenden Dissertation wird die Entwicklung eines Analysenverfahrens zur direkten Bestimmung von Eisenspuren in Dichlorsilan mit Hilfe der Graphitrohrofen-Atomabsorptionsspektrometrie mit modifizierter Autoprobe-Einheit beschrieben. Hierbei ermöglicht das konzipierte Gasdosierungssystem eine nahezu kontaminationsfreie und konstante Probengaseingabe. Das Verfahren wird optimiert und eine quantitative Bestimmung des Eisengehalts in Dichlorsilan durchgeführt.

Abstrakt in Englisch

In the present thesis the development of an analytical method for the determination of trace amounts of iron in dichlorosilane by graphite furnace atomic absorption spectrometry with a modified autoprobe unit is described. An conceived gas inlet system enabled a nearly contamination free and constant gas injection. The analytical method is optimized and the iron concentration in dichlorosilane is quantitatively determined.