Konzeption und Realisierung eines in-situ und online-Meßverfahrens
zur Partikeldetektion auf transparenten Oberflächen
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Schlüsselwörter in Deutsch:
Partikeldetektion, Streulichtmeßtechnik,
Sachgruppe der DNB
37 Elektrotechnik
Doctoral Dissertation accepted by: University of Duisburg , Department
of electrical engineering, 1997-10-07
Abstrakt in Deutsch
Im Rahmen dieser Arbeit ist ein neues Meßverfahren
zur Online und in-situ-Partikeldetektion auf Oberflächen konzipiert,
realisiert und verifiziert worden, das die Detektion der Verunreinigungen
durch eine transparente Oberfläche hindurch mit Hilfe der Streulichtmeßtechnik
erlaubt. Dieser innovative Schritt erlaubt es, alle Meßsystemkomponenten
unterhalb der transparenten Oberfläche anzuordnen. Erstmals wird eine
in-situ-Fähigkeit des Meßverfahrens im Gegensatz zu existierenden
Oberflächenmeßtechniken erzielt.
| Betreuer |
H. Fissan |
| Gutachter |
H. Fissan |
| Gutachter |
A. Beyer |
| Upload: |
1999-02-23 |
| URL of Theses: |
http://duepublico.uni-duisburg-essen.de/servlets/DerivateServlet/Derivate-5119/Dissertation_Dirk_Semleit.pdf |
University of Duisburg , Library
Lotharstr.65 , 47048 Duisburg, Germany