Inhaltsverzeichnis | ||
Formelzeichen | ||
Konstanten | ||
Abkürzungen | ||
Abbildungsverzeichnis | ||
Tabellenverzeichnis
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1 | Einleitung
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22 |
2 | Hochgeschwindigkeits-Photodetektoren | 29 |
2.1 | Photodetektoren | 30 |
2.2 | Wanderwellen-Prinzip und Phasenanpassung | 39 |
2.3 | Materialien | 46 |
2.4 | Halbleitereigenschaften
|
49 |
3 | Simulation | 52 |
3.1 | Halbleitersimulation | 53 |
3.2 | Optische Simulation | 56 |
3.2.1 | Methode des effektiven Brechungsindex | 56 |
3.2.2 | BPM-Verfahren | 61 |
3.2.3 | Simulation optischer Signale | 64 |
3.3 | Hochfrequenzersatzschaltbild | 69 |
3.3.1 | Analytische Lösung der Wellengleichungen | 78 |
3.3.2 | Numerische Lösung der Wellengleichungen | 83 |
3.4 | Optoelektronische Konversion: Simulationsergebnisse | 88 |
3.5 | Bauelemententwurf
|
93 |
4 | Bauelement-Herstellung | 97 |
4.1 | Maskenlayout | 98 |
4.2 | Halbleiterschichtstrukturen | 101 |
4.3 | Prozessierung
|
105 |
5 | Charakterisierung | 112 |
5.1 | Strom-Spannungs- und Kapazitäts-Spannungs-Messungen | 113 |
5.2 | Netzwerkanalyse | 116 |
5.3 | Optoelektronische Messungen | 126 |
5.4 | Bewertung der Ergebnisse | 139 |
6 | Zusammenfassung
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142 |
Literatur | 144 |