| Inhaltsverzeichnis | ||
| Formelzeichen | ||
| Konstanten | ||
| Abkürzungen | ||
| Abbildungsverzeichnis | ||
| Tabellenverzeichnis
|
||
| 1 | Einleitung
|
22 |
| 2 | Hochgeschwindigkeits-Photodetektoren | 29 |
| 2.1 | Photodetektoren | 30 |
| 2.2 | Wanderwellen-Prinzip und Phasenanpassung | 39 |
| 2.3 | Materialien | 46 |
| 2.4 | Halbleitereigenschaften
|
49 |
| 3 | Simulation | 52 |
| 3.1 | Halbleitersimulation | 53 |
| 3.2 | Optische Simulation | 56 |
| 3.2.1 | Methode des effektiven Brechungsindex | 56 |
| 3.2.2 | BPM-Verfahren | 61 |
| 3.2.3 | Simulation optischer Signale | 64 |
| 3.3 | Hochfrequenzersatzschaltbild | 69 |
| 3.3.1 | Analytische Lösung der Wellengleichungen | 78 |
| 3.3.2 | Numerische Lösung der Wellengleichungen | 83 |
| 3.4 | Optoelektronische Konversion: Simulationsergebnisse | 88 |
| 3.5 | Bauelemententwurf
|
93 |
| 4 | Bauelement-Herstellung | 97 |
| 4.1 | Maskenlayout | 98 |
| 4.2 | Halbleiterschichtstrukturen | 101 |
| 4.3 | Prozessierung
|
105 |
| 5 | Charakterisierung | 112 |
| 5.1 | Strom-Spannungs- und Kapazitäts-Spannungs-Messungen | 113 |
| 5.2 | Netzwerkanalyse | 116 |
| 5.3 | Optoelektronische Messungen | 126 |
| 5.4 | Bewertung der Ergebnisse | 139 |
| 6 | Zusammenfassung
|
142 |
| Literatur | 144 |