@PhdThesis{duepublico_mods_00027260,
  author = 	{Koester Dr., Oliver},
  title = 	{Ein Beitrag zur elektrochemischen Sensorik: Entwicklung und Charakterisierung von planaren amperometrischen Mikroelektroden unter Einsatz statischer und dynamischer Testverfahren},
  year = 	{2012},
  month = 	{Jan},
  day = 	{26},
  keywords = 	{Ultramikroelektrodenarray; waferlevel test; CV; quality control; glucose sensor; amperometric microelectrode; SECM; anisotropic etching; backside contact; electrochemical sensor; R{\"u}ckseitenkontakt; Potentiostat; Glukosesensor; UMA; Ultramicroelectrode-Array; EIS; amperometrische Elektrode; anisotropes},
  abstract = 	{Ein steigender Bedarf an chemischen und biochemischen Sensoren in Verbindung mit dem Streben nach Miniaturisierung und Kostendruck durch kurze Nutzungsdauern lassen den Einsatz von Technologien der Mikroelektronikfertigung mit seinen gro{\ss}en Potential an massenproduktionstauglichen Methoden attraktiv erscheinen. Die Vorteile der Siliziumtechnik werden jedoch nur dann voll wirksam, wenn neben der g{\"u}nstigen Herstellung auch Pr{\"u}fwerkzeuge f{\"u}r den Funktionstest der Transducer und Sensoren noch auf Basis der unzerteilten Wafer zur Verf{\"u}gung stehen. Der Validierung solcher Pr{\"u}fmethoden widmet sich diese Dissertation, im Besonderen der Qualit{\"a}tskontrolle an Ultramikroelektrodenarrays (UMA). Zur Bestimmung der charakteristischen Bauteilparameter wurden die elektroanalytischen Me{\ss}methoden elektrochemische Impedanzspektroskopie (EIS), Cyclovoltammetrie (CV) und rasterelektrochemische Mikroskopie (SECM) untersucht. Der {\"U}bergang zu entsprechenden Fragestellungen beim vollst{\"a}ndigen Sensor wurde am Beispiel Glukosesensor behandelt. Es ist zudem gezeigt worden, da{\ss} die EIS an UMA bei niederen Anregungsfrequenzen die verl{\"a}{\ss}liche Bestimmung der Standardgeschwindigkeitskonstanten reversibler Redoxsysteme erm{\"o}glicht. Die untersuchten Pr{\"u}fmethoden machen den Einsatz eines Potentiostaten erforderlich. In der vorliegenden Arbeit wurde ein Single-Chip Potentiostat charakterisiert und seine Zuverl{\"a}ssigkeit validiert und demonstriert. Neben der Ausbeutebestimmung beim Funktionstest auf Waferebene ist bei Sensoren die Ausbeute nach Assemblierung entscheidend. Im Rahmen der Dissertation wurde eine R{\"u}ckseitenkontaktierung f{\"u}r Siliziumchips entwickelt, die eine deutliche Steigerung dieser Ausbeute verspricht. Dazu wurde mit dem anisotropen R{\"u}ckseiten{\"a}tzen ein Verfahren der Silizium-Mikromechanik eingesetzt.},
  url = 	{https://duepublico2.uni-due.de/receive/duepublico_mods_00027260},
  file = 	{:https://duepublico2.uni-due.de/servlets/MCRFileNodeServlet/duepublico_derivate_00029427/Koester_Diss.pdf:PDF},
  language = 	{de}
}