PT Unknown
AU Wiethoff Dipl. Phys., C
TI Morphologische Transformation der Silizium (112) Oberfläche durch Metalladsorption: Facettierung vs. Stabilisierung
PD 07
PY 2010
LA de
DE Spaleed; Silizium 112; Facettierung; Nanodrähte; Gold; Silber; Aluminium
AB In den letzten Jahren haben Halbleiter-Nanodrähte ein enormes Comeback in der weltweiten Forschung erlebt. Aufgrund vielfältiger Anwendungsmöglichkeiten, oder der Hoffnung auf diese, wurden die winzig kleinen Drähte das Thema vieler Veröffentlichungen. Das häufigste beim Nanodrahtwachstum eingesetzte Metall ist Gold. Die damit erzeugten Nanodrähte können aufgrund der elektronischen Eigenschaften allerdings nicht zur Erzeugung von integrierten Schaltkreisen (IC's) genutzt werden. Unproblematisch ist in diesen Prozessen die Verwendung von Aluminium, da es schon seit langem in IC's verwendet wird. Bei Versuchen mit Aluminium Nanodrähte zu erzeugen, fielen unter anderem die besonders glatten Oberflächen der Drähte auf, was bei anderen Metallen noch nicht beobachtet worden war. 

In dieser Arbeit wird nun die Veränderung der Silizium (112) Oberfläche bei Metalladsorption untersucht. Da Nanodrähte mit [111]-Wachstumsrichtung [112]-artige Oberflächen zeigen, kann so an einer quasi unendlich großen "Drahtoberfläche" die Wechselwirkung von Metallen mit dem Silizium untersucht werden. Als Testkandidaten bieten sich Gold und Aluminium an, aufgrund der Ähnlichkeit zu Gold wird auch die Adsorption von Silber untersucht.

Die Untersuchung der Oberflächen wird hauptsächlich mit Spot Profile Analysis Low Energy Electron Diffraction (SPALEED) durchgeführt. Durch diese hochauflösende Beugungsmethode ist es möglich, auftretende Strukturen und Facetten sehr genau in Größe und Richtung zu charakterisieren. Für die Goldadsorption ergeben sich acht verschiedene Oberflächenphasen, von denen die stabilste eine Sägezahnstruktur mit 111- und 113-Facetten bildet, die auch auf Nanodrähten vorhanden ist.

Bei Silberadsorption bildet die Silizium (112) Oberfläche 111- und 115-Facetten aus. Die Facettengrößenverteilung ist sehr schmal, durch den finite-size Effekt entstehen daher Beugungsbilder mit Minima in der Nähe der Braggpunkte. Die Aluminiumadsorption führt im Gegensatz zu den anderen Metallen zu einer Stabilisierung der (112) Oberfläche. Diese atomar glatte Oberfläche wurde auch auf mit Aluminium als Katalysator gewachsenen Nanodrähten beobachtet.
ER