@PhdThesis{duepublico_mods_00012065,
  author = 	{Balgar Dr., Thorsten},
  title = 	{Laserstrukturierung von Alkylsiloxanmonoschichten auf Siliziumsubstraten im Submikrometerbereich},
  keywords = 	{Self-assembled Monolayer; SAM; organische Monoschicht; OTS; Silizium; Laserstrukturierung},
  abstract = 	{Organische Monoschichten, welche nach dem Prinzip des Self-assembly erzeugt werden, haben in den vergangenen Jahren eine gro{\ss}e Bedeutung erlangt, lassen sich durch sie doch zahlreiche Eigenschaften von Festk{\"o}rperoberfl{\"a}chen gezielt modifizieren. Insbesondere im Hinblick auf zuk{\"u}nftige Anwendungsgebiete wie beispielsweise organische Schaltkreise oder neuartige Biosensoren werden Techniken zur lateralen Strukturierung organischer Monoschichten verlangt. Die vorliegende Arbeit demonstriert unterschiedliche Strategien zur Erzeugung lateral strukturierter Octadecylsiloxan(ODS )-Monoschichten auf Siliziumoxidoberfl{\"a}chen. Die Strukturerzeugung erfolgt dabei grunds{\"a}tzlich durch laser direct writing mittels eines cw-Ar + -Lasers bei einer Wellenl{\"a}nge von 514 nm unter Raumatmosph{\"a}re. Auf diese Weise gelingt es, nahezu beliebige Muster aus lateral strukturierten ODS-Monoschichten mit Linienbreiten von mehreren Mikrometern bis hinab zu etwa 100 nm zu erzeugen. Die Charakterisierung der Substratoberfl{\"a}chen wird vorwiegend mittels Rasterkraftmikroskopie durchgef{\"u}hrt. Dar{\"u}ber hinaus wird ein photothermisches Modell entwickelt, welches m{\"o}gliche, den Strukturierungsvarianten zugrunde liegenden Mechanismen aufzeigt und die experimentellen Befunde qualitativ wie auch quantitativ erkl{\"a}ren kann.},
  url = 	{https://duepublico2.uni-due.de/receive/duepublico_mods_00012065},
  file = 	{:https://duepublico2.uni-due.de/servlets/MCRZipServlet/duepublico_derivate_00013148:TYPE},
  language = 	{de}
}